JEOL: lançamento das versões JSM-IT800(i)/(is) do microscópio de elétrons Schottky com varredura de emissão de campo

By On 31 ago, 2021

TÓQUIO 31/8/2021 –

– Plataforma FE-SEM com tecnologia de inteligência (IT) –

A JEOL Ltd. (TOKYO:6951) (presidente e diretor de operações Izumi Oi) anunciou que desenvolveu versões (i)/(is) semi-in-lens ideais para a observação de dispositivos semicondutores do microscópio de elétrons Schottky de emissão de campo JSM-IT800 (lançado em maio de 2020), e que começou a ser comercializado em agosto de 2021.

Este comunicado de imprensa inclui multimédia. Veja o comunicado completo aqui: https://www.businesswire.com/news/home/20210831005923/pt/

JSM-IT800 (is) (Photo: Business Wire)

Histórico do desenvolvimento

Os microscópios de varredura de elétrons (Scanning Electron Microscope, SEM) são utilizados em uma grande variedade de áreas, entre elas, nanotecnologia, metais, semicondutores, cerâmica, medicina e biologia. As aplicações SEM estão se expandindo não apenas para atender a pesquisa e desenvolvimento, mas também tratam do controle de qualidade e inspeção de produtos em fábricas, e usuários de SEM necessitam de mais agilidade na aquisição de dados de alta qualidade, além de simplicidade na confirmação de informações de composição com operações analíticas contínuas.

Para suprir essas demandas, o JSM-IT800 incorpora nossa pistola de elétrons de emissão de campo Schottky Plus na lente para fornecer imagens de alta resolução, um inovador sistema de controle óptico de elétrons “Neo Engine” e uma interface gráfica de usuário “SEM Center” para o rápido mapeamento de elemento de um espectrômetro de raios X dispersivo em energia (Energy Dispersive Spectrometer, EDS) totalmente integrado da JEOL, como uma plataforma comum. Além disso, o JSM-IT800 permite a substituição da lente objetiva do SEM como um módulo, oferecendo diferentes versões para atender diversos requisitos de usuários.

O JSM-IT800 está disponível em cinco versões com diferentes lentes objetivas: uma versão com lente híbrida (HL), que é um FE-SEM de uso geral; uma versão com lente super-híbrida (SHL/SHLs, duas versões com funções diferentes), que permite observação e análise com maior resolução; e a versão semi-in-lens recém desenvolvida (i/is, duas versões com funções diferentes), adequadas para a observação de dispositivos semicondutores.

O JSM-IT800 também pode ser equipado com um novo detector de elétrons de difusão retrógrada por cintilador (Scintillator Backscattered Electron Detector, SBED). O SBED possibilita fácil observação de imagens ao vivo com alta capacidade de resposta e produz contraste de material nítido mesmo em baixa tensão de aceleração.

Características

1. Pistola de elétrons com emissão de campo Schottky Plus na lente

A integração aprimorada da pistola de elétrons e da lente condensadora de baixa aberração fornece mais brilho. Uma corrente de sondagem ampla está disponível a uma baixa tensão de aceleração (100 nA a 5 kV). Único, o sistema Schottky Plus na lente possibilita diversas aplicações, desde imagens de alta resolução até rápido mapeamento de elementos até análise de difração por difusão retrógrada de elétrons (Electron Backscatter Diffraction, EBSD).

2. Neo Engine (novo mecanismo óptico de elétrons)

O Neo Engine é um inovador sistema óptico de elétrons que reúne muitos anos das principais tecnologias da JEOL. Os usuários podem realizar uma observação estável mesmo em diferentes condições de observação ou análise em constante mudança. A alta capacidade de operação para funções automáticas é altamente aprimorada.

3. SEM Center/integração de EDS

Uma interface gráfica do usuário (Graphic User Interface, GUI) “SEM Center” se integra totalmente com imagens SEM e análises EDS para fornecer operações ininterruptas e intuitivas. O JSM-IT800 pode ser aprimorado com a incorporação de complementos de software opcionais, como o SMILENAVI para ajudar e fornecer uma rota de aprendizagem para usuários iniciantes e o filtro LIVE-AI para alcançar uma mais alta qualidade de imagens ao vivo (Live Image Visual Enhancer – AI).

4. Versões semi-in-lens (i/is)

Uma semi-in-lens alcança resolução ultra-alta convergindo feixes de elétrons com a robusta lente de campo magnético montada sob a lente objetiva. Além disso, o sistema coleta com eficiência os elétrons secundários de baixa energia emitidos a partir de uma amostra e detecta os elétrons com o detector de lente superior (upper in-lens detector, UID). Assim, ele possibilita observação e análises de alta resolução de amostras inclinadas e transversais, necessárias para análise de falha de dispositivos semicondutores. E, ainda, é muito útil para observação de contraste de tensão.

5. Detector superior de elétrons (Upper electron detector, UED)

Um detector superior de elétrons pode ser instalado acima da lente objetiva. A vantagem do sistema é a habilidade de aquisição e imagem de elétron de difusão retrógrada e aquisição de imagem de elétron secundária em combinação com desvio da amostra. Os elétrons emitidos a partir de uma amostra são selecionados por um arquivador UID dentro da lente objetiva. O UED e o UIT permitem que múltiplas informações sejam captadas em uma única varredura.

6. Novo detector de elétrons de difusão retrógrada

Opcional, o detector de elétrons de difusão retrógrada por cintilador (scintillator backscattered electron detector, SBED) oferece alta capacidade de resposta e é ideal para obter imagens de contraste de materiais a baixa tensão de aceleração.

Meta de vendas

1) Versão JSM-IT800i: 5 unidades/ano

2) Versão JSM-IT800is: 40 unidades/ano

URL do produto: https://www.jeol.co.jp/en/products/detail/JSM-IT800.html

JEOL Ltd.

3-1-2, Musashino, Akishima, Tóquio, 196-8558, Japão

Izumi Oi, presidente e diretor de Operações (COO)

(Código de ações: 6951, primeira seção da Bolsa de Valores de Tóquio)

www.jeol.com

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